電子基板X線検査向けインライン自動検査装置。

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主な特長

安定性の高いマイクロフォーカスX線発生器に、直接変換方式X線カメラを組み合わせることで、繰り返し精度・安定性の高い
真のインライン自動X線検査が可能になった装置です。お客様の検査されたいサンプルに合わせて特注対応いたします

仕様

最大管電圧/最大管電流
(最大出力)
110 kV / 0.8 mA(50W)
最小焦点寸法 15 μm
X線検出器 SID-A50
幾何学的最小倍率
(視野角(㎜))
約2倍(21.5×19.3)
幾何学的最大倍率
(視野角(㎜))
約9倍(5.68×5.16)
対応ワークサイズ(㎜) 50×50~280×330
ワーク厚さ(㎜) 1.0~2.0
XY軸ストローク(㎜) 645×260
搬送速度(㎜/s) 10~300
外形寸法
(横×奥行×高さ)
1250×1250×1520(本体のみの寸法です。ディスプレイ、三色灯、オプションのバッハ等は含んでおりません)
重量 900 kg
X線漏洩線量 1 μSv/h以下
電源/圧縮空気 50/60 Hz 100 kV 30 A / 5 kgf/㎠以上

お客様の検査されたいサンプルに合わせて特注対応いたします

インライン自動X線検査装置 NEO-INSPECTOR
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