BGAなどの実装基板の接合状態確認が可能な、Mサイズ基盤対応のコンパクトモデルです。 直上観察のみのモデル(MT-310βS)、傾斜観察可能なモデル(MT-310βA、MT-390βA)をラインアップしております。

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仕様

型式 MT-310βS MT-310βA MT-390βA
最大管電圧/最大管電流 100kV / 0.25mA(10W制御) 100kV / 0.25mA(10W制御) 90kV / 0.25mA(10W制御)
最小焦点寸法 5μm 5μm 5μm
X線検出器 CMOS FPD CMOS FPD CMOS FPD

X線検出器受光面サイズ

(画素サイズ)

57 x 64 mm
(49.5 µm)
57 x 64 mm
(49.5 µm)
57 x 64 mm
(49.5 µm)
幾何学的最大倍率 約30倍 約30倍 約30倍
傾斜観察機構 なし あり あり
最大傾斜時幾何学的最大倍率 - 約15倍 約20倍
最大傾斜角 - 約45度(画面中心) 約45度(画面中心)
テーブルサイズ(mm) 370×320 370×320 370×320
XYZ軸ストローク(mm) 350×300×200 350×300×200 350×300×200
テーブルサイズ耐荷重 3kg 3kg 3kg

外形寸法

(横×奥行×高さ)(mm)

830×1045×1155

(突起部含まず)

830×1045×1155

(突起部含まず)

830×1045×1155

(突起部含まず)

重量 600kg 600kg 600kg
X線漏洩線量 1μSv/h以下 1μSv/h以下 1μSv/h以下
電源

50 / 60Hz AC100V±10%

15A(接地形2極コンセント付(旧3P))

50 / 60Hz AC100V±10%

15A(接地形2極コンセント付(旧3P))

50 / 60Hz AC100V±10%

15A(接地形2極コンセント付(旧3P))

シリーズ製品

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